在電子元器件可靠性測試中，內應力是一個重要的參數，它能夠反映元器件的內在質量和使用壽命。為了更準確地測定內應力，內應力測量儀應運而生，成為了電子元器件可靠性測試的得力助手。內應力測量儀主要依據X射線衍射原理來測定電子元器件中的內應力。在測定過程中，X射線照射到待測元器件上，元器件中的晶體結構會反射出特定的X射線衍射角度，通過測量這些角度的變化可以計算出內應力的大小。